部分窒化無酸素無炭素チタン蒸着膜の産業応用に関する調査研究*
課題概要
間瀬 一彦・KEK
mase@post.kek.jp029-864-5200(4440)
高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 放射光実験施設 真空系チーム