TIAの事業・活動

2022かけはし_#29

テーマ名

陽電子とアトムプローブ法による半導体プロセス後工程材料の欠陥評価手法の開発

ポスター

課題概要（第6回かけはし成果報告会2022.7.21）

担当者名・所属

上殿 明良・筑波大学　数理物質系　エネルギー物質科学研究センター

連絡先

Mail: uedono.akira.gb@u.tsukuba.ac.jp

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