TIAの事業・活動

2022かけはし_#21

テーマ名

先端原子層プロセス（ALP）の再定義と拡張のための連携および調査

ポスター

課題概要（第6回かけはし成果報告会2022.7.21）

担当者名・所属

右田　真司・国立研究開発法人産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域　デバイス技術研究部門

連絡先

Mail: s-migita@aist.go.jp

Tel: 029-849-1371

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