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TIAの事業・活動
2022かけはし_#21
テーマ名
先端原子層プロセス(ALP)の再定義と拡張のための連携および調査
ポスター
成果報告ポスター(第7回かけはし成果報告会2023.7.13)
担当者名・所属
右田 真司・国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 デバイス技術研究部門
連絡先
Mail: s-migita@aist.go.jp
Tel: 029-849-1371
関連ファイルダウンロード
- 21_TK22-041_成果報告_右田真司_AISTPDF/250.16KB
- 21_成果報告ポスター_先端原子層PDF/524.99KB
- TK22-041_2022年度かけはし_右田PDF/621.83KB
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- 2023年8月8日
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