TIAの事業・活動

2022かけはし_#21

テーマ名

先端原子層プロセス(ALP)の再定義と拡張のための連携および調査

ポスター

成果報告ポスター(第7回かけはし成果報告会2023.7.13)

成果報告書

課題概要(第6回かけはし成果報告会2022.7.21)

担当者名・所属

右田 真司・国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 デバイス技術研究部門

連絡先

Mail: s-migita@aist.go.jp

Tel: 029-849-1371

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