TIAの事業・活動

2022かけはし_#19

テーマ名

かご型TMOSプリカーサ分子によるSi酸化膜の成膜及び評価

ポスター

課題概要（第6回かけはし成果報告会2022.7.21）

担当者名・所属

諸田　美砂子・国立研究開発法人産業技術総合研究所　エレクトロニクス・製造領域　デバイス技術研究部門

連絡先

Mail: misako.morota@aist.go.jp

Tel: 029-861-2929

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