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TIAの事業・活動
2022かけはし_#19
テーマ名
かご型TMOSプリカーサ分子によるSi酸化膜の成膜及び評価
ポスター
成果報告ポスター(第7回かけはし成果報告会2023.7.13)
担当者名・所属
諸田 美砂子・国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 デバイス技術研究部門
連絡先
Mail: misako.morota@aist.go.jp
Tel: 029-861-2929
関連ファイルダウンロード
- 19_TK22-038_成果報告_諸田美砂子_AISTPDF/285.43KB
- 19_成果報告ポスター_かご型TMOSPDF/912.19KB
- TK22-038_2022年度かけはし_諸田PDF/534.01KB
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- 2023年8月8日
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