TIAの事業・活動

2022かけはし_#19

テーマ名

かご型TMOSプリカーサ分子によるSi酸化膜の成膜及び評価

ポスター

成果報告ポスター(第7回かけはし成果報告会2023.7.13)

成果報告書

課題概要(第6回かけはし成果報告会2022.7.21)

担当者名・所属

諸田 美砂子・国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 デバイス技術研究部門

連絡先

Mail: misako.morota@aist.go.jp

Tel: 029-861-2929

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