TIAの事業・活動

2021かけはし_#23

テーマ名

データサイエンスを活用した原子層プロセス(ALP)技術開発への取り組み

ポスター

課題概要(第5回かけはし成果報告会2021.7.14)

担当者名・所属

生田目 俊秀・国立研究開発法人物質・材料研究機構 技術開発・共用部門 ナノファブリケーショングループ

連絡先

Mail:nabatame.toshihide@nims.go.jp