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装置を追加登録しました（MEMS, SCR)

2019.9.2
産業技術総合研究所のMEMSファンドリーの装置59台を新規登録しました。

2019.8.8
産業技術総合研究所のスーパークリーンルーム(SCR)の装置129台を新規登録しました。