TIAの事業・活動

2019かけはし_#20

テーマ名:フォトニクス技術を用いた集積化高感度・高信頼性MEMS磁気センサの調査研究
2018年度「フォトニクス技術を用いたMEMSセンサ・_アクチュエータ集積化システムの調査研究」より継続
担当者名:廖 梅勇
所属  :機能性材料研究拠点 ワイドギャップ半導体グループ, NIMS
電話  : 029-860-4508
メール :<Meiyong.LIAO[at]nims.go.jp>
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メールアドレスは、[at]を@に置き換えてください

 

課題概要(第3回かけはし成果報告会2019.7.10)