TIAの事業・活動

2019かけはし_#14

テーマ名:最先端半導体製造装置開発のための10nm級超微粒子計測技術開発と調査
2018年度「最先端半導体製造装置開発のための10nmクラス超粒子計測技術開発と調査」より継続
担当者名:井藤 浩志
所属  :分析計測標準研究部門, AIST
電話  :
メール :<h.itoh[at]aist.go.jp>
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メールアドレスは、[at]を@に置き換えてください

 

課題概要(第3回かけはし成果報告会2019.7.10)