TIAの事業・活動

2019かけはし_#14

テーマ名：最先端半導体製造装置開発のための10nm級超微粒子計測技術開発と調査
2018年度「最先端半導体製造装置開発のための10nmクラス超粒子計測技術開発と調査」より継続
担当者名：井藤 浩志
所属　　：分析計測標準研究部門, AIST
電話　　：
メール　：<h.itoh[at]aist.go.jp>
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メールアドレスは、[at]を@に置き換えてください

 

成果報告ポスター（第4回かけはし成果報告会2020.7.29）

成果報告書（第4回かけはし成果報告会2020.7.29）

課題概要（第3回かけはし成果報告会2019.7.10）