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産業技術総合研究所 全施設 登録装置一覧
施設名概要キーワード施設データ装置一覧
先端ナノ計測施設(ANCF)

産総研で開発した先端計測分析機器を中心に公開し、分析機器や計測技術の高度化と適用例の拡大を行っています。

先端計測 施設データ 装置一覧
超伝導アナログ・デジタルデバイス開発施設(CRAVITY)

低温超伝導デバイス作製用機器と関連ノウハウを統合・ 集約し、アナログ/デジタル両方の超伝導技術をカバーした世界トップレベルの研究開発施設です。

超電導デバイス 施設データ 装置一覧
蓄電池基盤プラットフォーム(BRP) 関西センターにおいて、エックス線CTスキャナー、熱分析装置、レーザーラマン顕微鏡、カルベ式熱量計を擁する施設です。   施設データ  
ナノプロセシング施設(NPF)

電子線描画装置、i線ステッパ、エッチング装置、成膜装置等、微細加工に必要なプロセス装置群及び、電子顕微鏡、XPS等の計測分析装置を有し、ナノデバイスや新材料デバイスの微細加工から分析評価までを行える施設です。

微細加工/
先端計測
施設データ 装置一覧
先端バイオ計測施設(BIO)

糖鎖、植物転写因子を解析するための先端機器を提供し、各種生体試料の解析を支援しています。

糖鎖分析 施設概要資料 (pdf)
 
スーパークリーンルーム(SCR)

300mmシリコンウエハに半導体集積回路やフォトニクス回路を形成するデバイス開発試作ラインです。線幅65 nm CMOSトランジスタ試作、配線工程、あるいはこれらの試作装置を利用した単独処理等が可能です。また、新材料を使った研究開発などにも柔軟に対応に対応しています。

CMOS等の電子デバイス開発 施設データ 装置一覧
MEMS研究開発拠点(MEMS)

200/300 mm(8/12インチ)ウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化・評価設備を提供します。

MEMSデバイス開発 施設データ 登録準備中

注)産総研の個々の施設の装置、単価、利用手続きについては、産総研共用施設のページ(こちら)を参照ください。

物質・材料研究機構 概要ページ 登録装置一覧
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微細構造解析プラットフォーム (NMCP)

高性能の透過型・走査型電子顕微鏡群を中心として、表面からバルクに至る先端ナノ計測による研究支援を行っています。

先端計測 施設データ 装置一覧
微細加工プラットフォーム (NFP)

最先端微細加工プロセッシング装置およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m2のクリーンルームを中心に微細加工を担う施設です。

微細加工 施設データ 装置一覧
分子物質合成プラットフォーム (MMSP)

主にバイオテクノロジーとナノテクノロジー、材料科学の融合に関する研究開発支援を行う施設です。

バイオ材料 施設データ 装置一覧
蓄電池基盤プラットフォーム

小型蓄電池の試作から材料の分析評価まで、次世代蓄電池の研究開発に必要なほぼ全ての機能を網羅した最先端の共用インフラです。

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材料創製・加工ステーション (MME)

実験装置や研究設備の試作、試料作製、硝子工作、各種分析支援などと、主に金属系材料を対象にした溶解・鍛造・圧延・熱処理・溶接などの一環支援業務を行っています。

材料 施設データ 装置一覧
材料分析ステーション (MAS)

物質・材料の無機化学分析、X線回折、表面・微小領域分析などの施設があります。

先端計測 施設データ 装置一覧
電子顕微鏡ステーション

透過電子顕微鏡(TEM)と関連装置を共用施設として公開し、先端装置の整備・維持・運営・関連技術開発・人材育成などを進めています。

  施設データ 装置一覧
NMRステーション

 

  施設データ 装置一覧
低温応用ステーション

 

  施設データ 装置一覧

 

筑波大学 登録装置一覧
施設名概要キーワード施設データ装置一覧
ナノサイエンスプロジェクト共用装置

 

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微細加工プラットフォーム

微細加工による材料開発のためのプラットフォームとして、産学官の利用者に高度な技術支援と利用機会を提供しています。

微細加工 施設データ 装置一覧
研究基盤総合センター オープンファシリティー推進室 (UTOF)

筑波大学が有する研究設備・機器の学内外の方による有効利用を図る組織です。

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マルチタンデム加速器施設
研究基盤総合センター応用加速器部門 (UTTAC)

多種の高エネルギーイオンビームを利用し、高感度物質・材料分析、微細加工、照射試験、地球環境研究等の実験が可能な施設です。 放射性同位元素およびそれを利用する物理計測法、特に陽電子消滅法とメスバウアー分光分析が行えます。

  施設データ 装置一覧
パワーエレクトロニクス共用システム

筑波大学内のパワーエレクトロニクスの関連機器を共用ルームに集約化して再配置して公開しています。

  施設データ 装置一覧

 

高エネルギー加速器研究機構 登録装置一覧
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フォトンファクトリー (PF)

高エネルギー加速器研究機構(KEK)にある放射光施設で、多くの研究者に最先端の研究の場を提供しています。

特殊計測 施設データ 装置一覧
低速陽電子実験施設

専用ライナックをもちいて生成した陽電子からエネルギー可変単色陽電子ビーム (低速陽電子ビーム) を作り、固体物性や原子分子物理学の研究を行うことができます。

  施設データ 装置一覧
クライオ電子顕微鏡

構造生物学研究に必要なビームライン、効率的な結晶化技術、X線結晶構造解析・X線小角散乱などの計測手法などを利用できる施設です。

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東京大学  
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武田先端知スーパークリーンルーム

リソグラフィー・微細加工に有用な多岐にわたる装置・最先端の研究環境を提供

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 注)東大武田先端知スーパークリーンルームの所在地は、東京都本郷です。