TIAの事業・活動

MEMS

産総研つくば東事業所内に、200/300mmウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化設備を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結してオープンイノベーションを推進する場を提供しています。先端MEMSデバイスの小型化、高機能化に加えて、アプリケーション指向で集積化、システム化の研究開発を推進し、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術を目指します。また、企業や大学等に対して、各種加工分析装置による研究開発サポートやデバイス製造試作などを請け負うファンドリーサービスを提供しています。

*MEMS : Micro Electro Mechanical System

 



最先端のニーズに応えるMEMS開発拠点形成と
MEMSファンドリーサービス提供

最先端のニーズに応えるMEMS開発拠点形成とMEMS ファンドリーサービス提供

 先端集積化MEMSの研究開発や、200/300mmの大口径ウェハMEMS製造ラインによるデバイス試作などを行う、MEMSファンドリー(TKB-812)を整備しています。企業や大学などと共同研究や実証開発を行うとともに、共用のMEMSファンドリーとして、研究開発サポート、依頼加工・依頼分析、デバイス製造試作などのサービスを、MicroNano Open Innovation Center(MNOIC)と連携して提供しています。

 



新しい原理に基づく革新センサの開発*

MEMS高感度圧力センサー
MEMS高感度圧力センサー

 高感度圧力センサにより円管内の流体の慣性力を測定するジャイロセンサは、振動などによるノイズの影響を受けにくいという特徴があります。また、MEMS加工によるナノピラー構造を用いた赤外線センサは、広い範囲で受光波長を可変とすることが可能です。これらの革新センサと人工知能との組み合わせにより、ロボットや自律移動体のための空間認識技術へ応用が進められています。

* NEDO「空間移動時のAI融合高精度物体認識システムの研究開発」(FY2017-2018)の成果

 

 

 

 

大面積フレキシブルセンサシートによる道路インフラモニタリング**

大面積フレキシブルセンサシート

 老朽化が進む橋梁の維持管理のために、橋梁のひずみ分布を測定解析して亀裂発生などをモニタリングするシステムの開発を行いました。MEMS技術による極薄PZT圧電ひずみセンサを、フレキシブル回路基板上に格子配列した大面積のセンサシートを開発し、ひずみのマッピングから亀裂の有無の測定に成功しています。このセンサシートと太陽電池を用いた自立電源システムにより、ひずみ測定とデータ通信が可能です。これを橋梁に貼り、多数のセンサをワイヤレスネットワークで接続することで、継続的なモニタリングや災害時の状態確認が可能となります。

** NEDO「道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発」(FY2014-2018)の成果



その他

 

TIAを活用するプロジェクト