TIAの事業・活動

MEMS

産総研つくば東事業所内に、200/300mmウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化設備を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結してオープンイノベーションを推進する場を提供しています。先端MEMSデバイスの小型化、高機能化に加えて、アプリケーション指向で集積化、システム化の研究開発を推進し、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術を目指します。また、企業や大学等に対して、各種加工分析装置による研究開発サポートやデバイス製造試作などを請け負うファンドリーサービスを提供しています。

*MEMS : Micro Electro Mechanical System



最先端のニーズに応えるMEMS開発拠点形成と
MEMSファンドリーサービス提供

『最先端のニーズに応えるMEMS開発拠点形成とMEMS ファンドリーサービス提供』の画像

産総研では、大規模なSiCデバイス試作用クリーンルームを整備しており、ウエハ、デバイスの様々なデータの蓄積による評価技術の確立、製造プロセス高効率化を進めています。産総研と大学による様々な基礎研究(欠陥評価や新構造デバイスの検討、シミュレーションなど)を推進し、その成果を活用して産業界のニーズに対応した応用研究に繋げています。 とりわけ、次世代大口径ウエハ製造や高耐圧デバイス製造等に、自動車メーカー、材料メーカー、加工メーカー、デバイスメーカー等が一貫連携して取り組む研究開発を推進しています。



新しい原理に基づく革新センサの開発

『MEMS高感度圧力センサー』の画像
MEMS高感度圧力センサー

高感度圧力センサにより円管内の流体の慣性力を測定するジャイロセンサは、振動などによるノイズの影響を受けにくいという特徴があります。また、MEMS加工によるナノピラー構造を用いた赤外線センサは、広い範囲で受光波長を可変とすることが可能です。これらの革新センサと人工知能との組み合わせにより、ロボットや自律移動体のための空間認識技術へ応用が進められています。

 

 

 

 

 

大面積フレキシブルセンサシートによる道路インフラモニタリング

『『『大面積フレキシブルセンサシート』の画像』の画像』の画像

老朽化が進む橋梁の維持管理のために、橋梁のひずみ分布を測定解析して亀裂発生などをモニタリングするシステムを開発しています。MEMS技術による極薄PZT圧電ひずみセンサを、フレキシブル回路基板上に格子配列した大面積のセンサシートを開発し、ひずみのマッピングから亀裂の有無の測定に成功しています。このセンサシートと太陽電池を用いた自立電源システムにより、ひずみ測定とデータ通信が可能です。これを橋梁に貼り、多数のセンサをワイヤレスネットワークで接続することで、継続的なモニタリングや災害時の状態確認が可能となります。



振動発電により動作するセンサネットワークデバイスの開発

『振動発電により動作するセンサネットワークデバイスの開発』の画像

電源配線や電池を使用せずにポンプなどの回転機器の状態をモニタリングできる、自立電源ワイヤレス振動センサシステムを開発しています。圧電MEMS振動発電デバイスとコンパレータ、スイッチ回路を組み合わせた「鹿威しセンシング」を使ったデバイスは、振動発電による電力だけで計測と無線データ送信が行えます。 公共施設のライフライン・インフラに使用される空調機器用ポンプなど、回転機器の早期異常検知のための常時モニタリングシステムに利用できます。



TIAを活用するプロジェクト

関連ファイルダウンロード

Get Adobe Reader

PDFファイルをご覧いただくにはAdobe Readerが必要です。
お持ちでない方は、左のボタンをクリックしてAdobe Readerをダウンロード(無料)してください。