TIAの事業・活動
共用施設
茨城県つくば市には、我が国の公的研究機関の1/3にあたる32の研究機関が集積しており、独自に開発された装置を含め、多分野にわたる研究設備、研究環境が幅広く整えられています。 TIAの中核機関である産総研、NIMS、筑波大学、KEKには、物質合成、極微細加工、デバイス試作、物性測定、ナノ計測・分析といったナノテクノロジー研究を支える最先端施設や装置が多数あり、「技術相談」、「技術代行」、「機器利用」、「共同研究」など様々な形態(有償)での外部利用を提供しています。 2016年度より東京大学が、2020年度より東北大学がこの共用施設ネットワークに参加しました。
また、上記有償利用のほかに、KEKの放射光科学研究施設(フォトンファクトリー:PF)では、大学等の研究者向けの共同利用(無償)を実施しています。 各機関とも装置使用の講習会などを含め、装置群の共用による効率的な研究開発の促進に貢献しています。一部の施設は文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業にも参加しており、共用施設の利用を促進しています。
*共用施設に関する動画を配信しております。
最先端の装置群と利用形態

つくばの中核4機関は南北に15kmの長円の域内にあり、そこに総計600台余りの研究装置の揃った15の共用施設群があります。それらは、微細加工プロセス機器、先端計測・分析機器、フォトンファクトリー(PF)の放射光を用いた実験施設、宇宙放射線耐性試験などが可能な装置、分子・物質合成施設など、基盤的な装置から特殊用途の施設まであり、学術研究から産業技術開発にわたる幅広い用途に対応可能です。それらの共用施設利用の形態としては、技術相談、技術代行、機器利用、共同研究などがあり、成果公開を前提とした有償・無償の利用や、厳格な秘密保持契約に基づく成果非公開の利用等があります。KEKの放射光科学研究施設(フォトンファクトリー:PF)などは、共同利用施設として大学等に向けて無償公開されています。また、一部の施設は文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業に参加し、施設共用を進めています。
TIA共用施設データベース
2013年に、つくば国際戦略総合特区事業の一環として作成した「つくば共用研究施設データベース」は、2019年にTIAに移設、2020年より「TIA共用施設データベース」と運用しています。 現在は、TIA中核6機関(産総研、NIMS、筑波大学、KEK、東京大学、東北大学)の共用装置680台以上が登録され、その中から目的に適う装置を探すことが出来ます。 キーワード検索によって装置の所在、スペック、申込方法などが調べられます。
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キーワードから装置検索
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中核機関の施設(一例)
施設のデータや装置の検索は、データベースをご活用ください。
産総研
- スーパークリーンルーム(SCR)
- MEMS研究開発拠点
- 先端ナノ計測施設(ANCF)
- 超電導量子回路試作施設(Qufab)
- 蓄電池基盤プラットフォーム(BRP)
- ナノプロセシング施設(NPF)*NPFパンフレット
- 先端バイオ計測施設(BIO)
NIMS
ナノテクノロジー融合ステーション(千現ファウンドリ)(NFP)
ナノテクノロジー融合ステーション(ナノバイオ)(NIMS-ARIM材料評価分野)
筑波大学
KEK
東京大学
東北大学
テクニカルセミナー

世界最新・最先端のナノ加工・計測・分析技術の研究開発や、学術研究から産業技術開発にわたる広い分野における人材の育成のため、様々なセミナー、スクール、トレーニングコースを開催しています。産総研スーパークリーンルームの装置群を利用した実習や、筑波大学のイオンビームによる計測・加工のトライアルユース(無償)など、各機関の特色を活かした多数のコースがあります。
共用施設紹介記事
- 第1回 TIA共用施設の概要 [PDF/978.89KB]
- 第2回 産総研ANCF:超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡(SC-SEM) [PDF/1.15MB]
- 第3回 産総研NPF:集束イオンビーム加工観察装置(FIB) [PDF/1.57MB]
関連サイト
関連ファイルダウンロード
- 第一回TIA-NANO概要PDF/979.27KB
- 第二回AIST_ANCF_SC-SEMPDF/1.14MB
- 第三回AIST_NPF_FIBPDF/1.58MB
- 共用施設リーフレット20221025PDF/1.22MB

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- 2023年2月9日
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