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施設詳細

超伝導量子回路試作施設（Qufab）


機関名 産業技術総合研究所
施設名 超伝導量子回路試作施設
施設概要 超伝導デバイス開発を牽引してきた産総研と(公財)国際超電導産業技術研究センター（ISTEC）の有する低温超伝導デバイス作製用機器と関連するノウハウを統合・ 集約した、超伝導アナログ/デジタル技術の両方をカバーした世界トップレベルの研究開発施設です。
　本施設は、産総研の先端機器共用イノベーションプラットフォーム（IBEC）に属する共用施設として、内外の研究者に公開され、一定の利用料を支払うことでどなたでも本施設の各種装置を使ったデバイス作製が可能です。ご自身で各種装置を利用してデバイスの作製を実施することに加えて、超伝導デバイス作製に習熟した私どものスタッフに、ご希望のデバイスの作製を依頼すること（技術代行）もできます。
　本施設で公開している露光装置、スパッタ装置、反応性イオンエッチング装置、洗浄装置、検査装置などの各種装置は、全て自動化、レシピ化され、さらに安定した超伝導デバイスの作製プロセスを実現するため、材料や目的に応じて使い分けされた専用装置となっています。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
詳細リンク 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第２
電話：029-861-3210
FAX：029-861-3211
Eメール：tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考