施設詳細

武田先端知スーパークリーンルーム

機関名	東京大学
施設名	武田先端知スーパークリーンルーム
施設概要	高速大面積電子線露光装置、レーザー直接描画装置、深掘りエッチングなど特徴のある微細加工装置群ならびに電子顕微鏡、オージェ、AFMなどの評価装置を備え、MEMSを中心に微細デバイスの加工・研究の場を提供しています。
利用方法	詳しくはこちらをご覧下さい
詳細リンク	詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先	http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html 〒113－8656 東京都文京区弥生2－11－16 武田先端知ビル306号室（東京大学浅野キャンパス内） TEL:03-5841-1506
備考