施設詳細

スーパークリーンルーム（SCR）

機関名	産業技術総合研究所
施設名	スーパークリーンルーム
施設概要	仕様・床面積：3000 m² ・クリーン度：クラス3（JIS B 9920, ISO 14644-1）・ウエハサイズ：300mm対応・液浸ArF露光装置等を利用した 65 nm CMOS技術等クリーンルーム環境　温度・湿度：23±1 °C, 45±5 % FFU (ファインフィルターユニット)による一方向流方式　化学汚染対策：４層構成の同一断面と気密区画、一部ケミカルフィルター　振動対策：地盤改良/マットスラブ/エクスパンションジョイント/一部コンクリート床板
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問合せ先	国立研究開発法人産業技術総合研究所 TIA推進センター共用施設運営ユニットスーパークリーンルームステーション〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西７ SCR棟電話：029-849-1530 FAX：029-849-1533 Eメール：scr_contact-ml[@]aist.go.jp （メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください）
備考