施設詳細

MEMS研究開発拠点（MEMS）

機関名	産業技術総合研究所
施設名	MEMS研究開発拠点
施設概要	産総研つくば東事業所内に、200/300mm（8/12インチ）ウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化・評価設備（TKB-812）を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結して共同研究や実証開発によるオープンイノベーションを推進する場を提供しています。先端MEMSデバイスによる小型化、高機能化、産業競争力強化などにより、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術開発を目指します。これらのMEMS製造設備は、産総研の共用施設等利用制度により広く大学など学術研究機関や企業の皆様にご利用いただけます。また、Micro-Nano Open Innovation Center　(MNOIC)などと連携して、大口径ウェハMEMS製造ラインによるデバイス試作や各種加工分析装置による研究開発サポートなどの、ファンドリーサービスを提供しています。
利用方法	詳しくはこちらをご覧下さい
詳細リンク	詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先	国立研究開発法人産業技術総合研究所 TIA推進センタープラットフォーム運営ユニット共用施設ステーション〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第２電話：029-861-3210 FAX：029-861-3211 Eメール：tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考