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装置詳細

汎用NLDエッチング装置 

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー ㈱アルバック
型式 NLD-5700Si
用途 膜加工・エッチング
仕様(特徴・詳細) NLD-5700Si ガラスの深掘りが可能なニュートラルループディスチャージ(NLD)エッチング装置。当面は技術補助のみ。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 膜加工、エッチング