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装置詳細

枚葉式ZEP520自動現像装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー アクテス京三
型式 ADE-3000S
用途 リソグラフィ・露光・描画装置
仕様(特徴・詳細) アクテス京三 ADE-3000S
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード リソグラフィ、露光、現像