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装置詳細

オージェ分光分析装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー ULVAC
型式 PHI SAM680
用途 形状・形態観察、分析
仕様(特徴・詳細) ULVAC PHI680 元素分析装置。
対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。
アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 形状、形態観察、分析、オージェ、分光