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装置詳細

精密フリップチップボンダー

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー Finetech
型式 Lambda2
用途 切削、研磨、接合
仕様(特徴・詳細) Finetech Lambda
ハーフミラーで両方を見ながら位置合わせができる 、このクラスでは「世界最強」のマニュアルフリップチップボンダーです。
手動(マイクロメータによる位置合わせ)精度±0.5μm、角度合わせはアナログ式1ミリラジアン。
チップサイズ15mmまで(治具作成可能)
ランプ加熱による400度熱接合 (超音波オプション購入すれば可能)
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 配線、ボンダー、フリップチップ