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装置詳細

汎用高品位ICPエッチング装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー ULVAC
型式 NE-550
用途 膜加工・エッチング
仕様(特徴・詳細) ULVAC NE-550
CE-300Iの上位機種(ULVACのフラッグシップモデル)です。
大津・八井研究室の協力により利用可能になりました。
4”装置 塩素・フッ素系汎用? Cl2, BCL3, Ar, O2, CF4,CHF3, SF6, C3F8
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 膜加工、エッチング