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装置詳細

機械特性評価装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー Polytec
型式 MSA-500
用途 機械計測
仕様(特徴・詳細) Polytec MSA-500 振動解析装置
MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 振動解析、ストロボスコープ、レーザードップラー振動計