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装置詳細

塩素系ICPエッチング装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー ULVAC
型式 CE-S
用途 膜加工・エッチング
仕様(特徴・詳細) ULVAC CE-S
オペレーションの容易さで評判のCE-300Iの後継機
8”装置(任意サンプル貼り付けエッチング可能)
Cl2, BCl3, SF6, CHF3, Ar, O2によるエッチングが可能ですが、主に使い分けとしてCl系のエッチングを行っています。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 膜加工、エッチング