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装置詳細

高速シリコン深掘りエッチング装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー SPTS
型式 MUC-21 ASE-Pegasus
用途 膜加工・エッチング
仕様(特徴・詳細) SPTS MUC-21 ASE-Pegasus
高密度プラズマにより(ICPパワー3kWまで。1800W常用)、低ダメージ、高速にてエッチングが可能です。(例:当方のEBレジストを用い、scalloping100nm程度で100μm開口トレンチ20分エッチングで135μm)
4”装置
100nmクラス開口特殊レシピ有。また、SF6による「ドライリリース」や、C4F8による酸化膜エッチングなど、組み合わせで便利に使えるレシピも利用できます。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 膜加工、エッチング