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装置詳細

川崎ブランチスパッタリング装置

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー 芝浦メカトロニクス(株)
型式 CFS-4EP-LL
用途 成膜・膜堆積
仕様(特徴・詳細) 型式番号:CFS-4EP-LL芝浦メカトロニクス(株)
ターゲット材をアルゴンプラズマによってスパッタリングし、基板に製膜するスパッタリング装置です。
ターゲット材は日々変動するので都度相談ください。
φ200以下のシリコン、ガラス専用。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 成膜、膜堆積、スパッタ