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装置詳細

形状・膜厚・電気特性評価装置群

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー Keyence
型式 VHX-6000
用途 形状・形態観察、分析
仕様(特徴・詳細) 枝番1:Keyence顕微鏡,型式VHX-6000
顕微鏡観察を行う装置です。
枝番2:DektakXT-S,
触針段差計です。
枝番3:Tohospec3100
枝番4:Suss8”プローバ,
針を当てて電気的特性を測定する装置です。8インチ対応。
枝番5:分光エリプソメータ―M-550
枝番6:レーザー顕微鏡OLS5000
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利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード 膜加工、エッチング、光干渉式膜厚計、光学顕微鏡、段差計、プローバ、エリプソメーター