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装置詳細

光リソグラフィ装置PEM800

機関 東京大学
施設名 武田先端知スーパークリーンルーム
メーカー UNION
型式 PEM800
用途 リソグラフィ・露光・描画装置
仕様(特徴・詳細) 型式番号:UNION PEM800
光によるリソグラフィを行う装置。
いわゆる両面4”マスクアライナーと呼ばれる装置です。
マスクは5009、4009、2509サイズを取り付け可能です。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/mailform/index.html
〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
TEL:03-5841-1506
備考
施設画像
検索キーワード リソグラフィ、露光、光露光