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装置詳細

電界放出形走査電子顕微鏡[S4500_FE-SEM] (2F)

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 S-4500
用途
仕様(特徴・詳細) 細く絞った電子線による試料表面の走査によって対象物から放出される二次電子信号を検出することで、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示し、微細加工部の形状などを観察・評価します。特殊な電子銃により電子線を試料表面で細く収束し、非常に微細な構造を表示できます。試料を傾けることにより、三次元形状を把握することも可能です。
●型式:S-4500
●電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
●加速電圧:0.5~30 kV
●分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
●試料ステージ制御:5軸モーター制御
●可動範囲:X,Y:0~25 mm、Y:0~25 mm、Z:3~28 mm、R:360°、T:-5~45°
●試料サイズ:~50 mmΦ
●検出器:2次電子検出器(2系統)、エネルギー分散型X線検出器
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
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