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装置詳細

ヘリウムイオン顕微鏡

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー Carl Zeiss
型式 ORION Plus
用途
仕様(特徴・詳細)
●型番: ORION Plus ●分解能:0.35nm(エッジコントラスト)
●加速エネルギ:10kV ? 35kV
●検出器:二次電子、反射イオン、ルミネッセンス
●付属機器:ガスインジェクションシステム(W, Pt)
ヘリウムイオン顕微鏡は冷却イオン源尖端1原子から電界イオン化したヘリウムイオンビームを加速した後、試料表面へ照射し発生する二次電子を用いてSEMと同様に二次電子像を得る装置です。単一光源の利点として焦点深度が深く、SEMに比べ二次電子のエネルギーが低く平均自由工程が1nmと非常に短い(SEM:5~10nm)ためSEMでは得られない極表面形状・構造に敏感な像を高い材料コントラスト差で得ることが可能です。
観察条件では電子に比べヘリウムイオンは試料の内部深くまで入りますので単位体積当たりの試料への負荷エネルギがSEMより3桁以上小さく、熱ダメージに弱い有機材料、バイオ材料(細胞など)などの観察に有利です。また観察時にヘリウムイオン照射で正に帯電した試料表面を電子線照射で中和することできるため絶縁体試料の観察にも有効です。
ヘリウムイオン照射を強くすることにより、グラフェンなど二次元膜の格子欠陥形成による材料物性・機能制御、デバイス試作のための10nm以下のナノ加工なども可能です。ルミネッセンスによる材料評価や電位、温度を制御した状態での評価、加工も実験的に可能となっています。
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
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