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装置詳細

イオンコーター(SEM付帯)

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー 日立ハイテクノロジーズ
型式 E-1045
用途
仕様(特徴・詳細) 集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性のない試料の昇華や融解による形状変形 及び熱改質の防止、試料の表面へのイオン注入による汚染(orイオンビーム入射による表面改質)の防止、電気伝導性のない試料の加工や観察への帯電障害(チャージアップ)を防止するため、Ptコーティングを行う装置です。
●放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形)
●電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み)
●電圧:最高電圧DC 0.4 kV
●電流:最大電流DC 40 mA
●コーティングレート: Pt 毎分15 nm以上 (参考値)
●試料サイズ:最大直径:60 mm、最大高さ:20 mm
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
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