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装置詳細

ナノサーチ顕微鏡

機関 産業技術総合研究所
施設名 超伝導量子回路試作施設
メーカー 島津製作所
型式 ST-4500
用途 ウェハー上の特定箇所の微細な構造を観察するために使用する。
仕様(特徴・詳細) 型式:ST-4500
光学顕微鏡、走査型レーザー顕微鏡(LSM),走査型プローブ顕微鏡(SPM)を一台に集約。多様な試料に対応の観察・測定装置。
数十倍から百万倍の超ワイド領域で,ミリからナノまでの観察・測定を本装置のみで実現。各種顕微鏡の切り替えは電動で実施のため、観察対象物を見失うことなく,素早く正確にプローブ顕微鏡で観察が可能。
また、微分干渉スライダ、偏光板も搭載され、明視野、微分干渉、レーザーコンフォーカル、レーザーコンフォーカル微分干渉での測定が可能。
1.レーザー顕微鏡(LSM)部性能
・レーザー波長:405nmの半導体レーザー
・カラー観察用光源:白色LED
・カラー観察用CCD:200万画素
・対物レンズ種類:5×、20×、50×、100×
・XYステージ:100×100mm以上の電動ステージ。ステージ台回転機能付き(±40°以上の回転可能)
・最大サンプル高さ:70 mm
・高さ分解能:1 nm
2.走査型プローブ顕微鏡(SPM)性能
・スキャン範囲:最大30μm×30μm×4μm(X-Y-Z)
・選択可能動作モード:コンタクトモード,ダイナミックモード,位相モード,電流モード,表面電位(KFM)モード
3.データ解析性能
・LSMデータ解析内容:プロファイル測定、段差測定、面積/体積測定、線粗さ測定、面粗さ測定が可能
・取得データ:スナップショット、3Dデータ、長寸法ラインデータ
・SPMデータ解析内容:断面形状解析、線粗さ解析、面粗さ解析、形態解析、平均段差測定が可能
・画像スティッチング枚数:最大625枚
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考 ・設置場所:2-12棟1133クリーンルーム内。
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検索キーワード SPM レーザー顕微鏡 ハイブリッド