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装置詳細
マニュアルプローバ
機関 | 産業技術総合研究所 |
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施設名 | 超伝導量子回路試作施設 |
メーカー | 株式会社日本マイクロニクス |
型式 | 705B-A |
用途 | ウェハー上の各種膜からなるパターンの抵抗を測定するために使用する。 |
仕様(特徴・詳細) | 本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットし、マイクロポジショナー(ニードル)をマニュアルで測定箇所に合わせて測定するマニュアルプローバです。試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。 ・型式:705B-A ・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック ・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4 ・測定器:デジタルマルチメータ(Keithley 197) ・測定結果はデジタルマルチメータの表示のみ。 ・測定可能なウェハサイズ:3インチ、4インチ、数mm角のチップでも可 ・測定時間:プロービング数に依存 |
利用方法 | 詳しくはこちらをご覧下さい |
問合せ先 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション 〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2 電話:029-861-3210 FAX:029-861-3211 Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp |
備考 | ・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。 ・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチ、4インチウェハ、又は数mm角のチップでも可 ・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。 |
施設画像 | |
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