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装置詳細

マニュアルプローバ

機関 産業技術総合研究所
施設名 超伝導量子回路試作施設
メーカー 株式会社日本マイクロニクス
型式 705B-A
用途 ウェハー上の各種膜からなるパターンの抵抗を測定するために使用する。
仕様(特徴・詳細) 本装置は、ウェハステージに人手でウェハをセットし、マイクロポジショナー(ニードル)をマニュアルで測定箇所に合わせて測定するマニュアルプローバです。試作途中又は試作後のウェハの2端子、4端子測定が可能です。
・型式:705B-A

・ウェハ保持:ウェハ裏面のバキュームチャック
・プロービング:マイクロポジショナー、ニードル数:4
・測定器:デジタルマルチメータ(Keithley 197)
・測定結果はデジタルマルチメータの表示のみ。
・測定可能なウェハサイズ:3インチ、4インチ、数mm角のチップでも可
・測定時間:プロービング数に依存
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考 ・設置場所:2-12棟1131クリーンルーム内。
・使用可能サンプル:裏面が清浄な3インチ、4インチウェハ、又は数mm角のチップでも可
・実際の利用に当たっては装置管理者の指示に従うこと。
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