1. ホーム>
  2. 装置詳細

装置詳細

超音波顕微鏡

機関 産業技術総合研究所
施設名 MEMS研究開発拠点
メーカー
型式
用途 評価装置(後工程)
仕様(特徴・詳細) ウェハ寸法:12インチ以下、機能:接合されたウエハなどの内部欠陥(ボイド、クラック、剥離など)の観測
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考 単価表などは利用方法を見てください
施設画像
検索キーワード 接合