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装置詳細

IR-OBIRCH解析装置

機関 産業技術総合研究所
施設名 スーパークリーンルーム
メーカー 浜松ホトニクス
型式 μAMOS
用途 分析
仕様(特徴・詳細) 用途: 故障個所特定装置
特徴: 近赤外レーザー光を使用したOBIRCH解析によりICチップ内部のショート、リーク、高抵抗等の不良箇所の絞り込みに利用
対応基板: φ300mm
装置番号: B10-06
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター共用施設運営ユニット スーパークリーンルームステーション
〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西7 SCR棟
電話:029-849-1530 FAX:029-849-1533 Eメール:scr_contact-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)
備考 利用単価は【利用方法】の項目のリンク先にあります
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検索キーワード 計測装置