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装置詳細

アルゴンミリング装置

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー 伯東
型式 3-IBE
用途 加工
仕様(特徴・詳細) イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。
反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10-2 Pa台)でエッチングの処理が行えます。
・型式:3-IBE
・ビーム直径: Φ3 cm
・ビーム加速電圧:500, 300 V
・イオン電流密度:1 cm2 あたり1 mA(但し、入射角度0°の時)
・試料室の真空度: ~3 × 10-2 Pa
・パージガス: 窒素ガス
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
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