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装置詳細

UVクリーナー (リソグラフィ付帯装置)

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー サムコ
型式
用途 洗浄
仕様(特徴・詳細) UV(紫外線)を用いたドライ洗浄装置。

・UVランプ:110W x 1 (peak wavelength 253.7 nm , 184.9 nm)
・試料ステージ温調機能:室温~300 ℃・オゾン発生器

サムコ社のUVクリーナー解説ページ
http://www.samco.co.jp/aboutus/primer/2011/03/post_4.php
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考

付帯装置
施設画像
検索キーワード UVクリーナー ドライ洗浄装置