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装置詳細
スピンコーター (リソグラフィ付帯装置)
| 機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 施設名 | ナノプロセシング施設 |
| メーカー | |
| 型式 | |
| 用途 | 薬剤塗布 |
| 仕様（特徴・詳細） | |
| 利用方法 | 詳しくはこちらをご覧下さい |
| 問合せ先 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション 〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第２ 電話：029-861-3210 FAX：029-861-3211 Eメール：tia-kyoyo-ml@aist.go.jp |
| 備考 | 付帯装置 |
| 施設画像 | |
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