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装置詳細

ラッピングマシン(CMP)

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー
型式
用途 ラッピング
仕様(特徴・詳細)
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考
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