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装置詳細

デバイス容量評価装置

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー Keithley
型式 Model 82-WIN
用途 計測
仕様(特徴・詳細) この装置では、試料表面に電圧をかけたとき発生する電流を測定し、その値から、電気容量などの電気的特性を調べることができます。
・型式:Model 82-WIN
・測定周波数:100kHz、1MHz
・測定電圧:15mV rms
・最大レンジ:20nF、2nF
・最大レンジの読取確度:0.25%、0.29%
・最小レンジ:2pF、20pF
・最小レンジの読取確度:0.12%、0.29%
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考
施設画像
検索キーワード 電気容量