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装置詳細

レーザー顕微鏡

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー キーエンス
型式 VK-8500
用途 観察
仕様(特徴・詳細) この装置は、試料にレーザー光を当て、高さの違いにより生じる反射光量の変化から立体形状を測定します。
CCDカメラで撮影した映像をテレビモニターで観察しながら測定します。
視野範囲内の任意に指定した二点を結ぶ直線上の断面形状を求めるプロファイル測定を始めとした形状解析が可能です。
また、専用の解析アプリケーションを使えば更に詳細な解析が可能です。
・製造元:キーエンス
・型式:VK-8500
・測定用レーザー光源:He-Neレーザー
・試料ステージストローク:70 mm(x,y)、28 mm(Z)
・高さ測定範囲:7 mm
・高さ方向最小測定分解能:0.01 μm
・高さ方向繰り返し測定精度:0.03 μm
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
備考
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