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装置詳細

ナノサーチ顕微鏡(SPM3)[SFT-3500]

機関 産業技術総合研究所
施設名 ナノプロセシング施設
メーカー 島津製作所
型式 SFT-3500
用途 観察
仕様(特徴・詳細) この装置は、光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕微鏡です。
数十倍~百万倍以上の超ワイドレンジでの観察を行うことが可能です。
搭載の機能を組み合わせることで、SPM単体では困難であった視野探しを試料を載せかえずに正確かつスピーディに行うことができます。
LSM部
・観察視野:2,560 μm~21 μm
・対物レンズ:5×, 20×, 100× (光学ズーム 1×~6×)
SPM部
・最大走査範囲:水平(X,Y)30 μm, 垂直(Z)4 μm
・検出方式:光てこ方式
・測定モード:ダイナミックモード(タッピングモード)、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード
共通部
・ステージストローク:100 × 100 mm
・試料最大高さ:54.5 mm

島津製作所のナノサーチ顕微鏡解説ページ(SFT-4500)
http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/spm/sft/sft-4500/index.htm

島津製作所ナノサーチ顕微鏡観察データ集
http://www.an.shimadzu.co.jp/surface/spm/sol/spm/pdf/sft3500_datasummary2011.pdf

利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター プラットフォーム運営ユニット 共用施設ステーション
〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2
電話:029-861-3210
FAX:029-861-3211
Eメール:tia-kyoyo-ml@aist.go.jp
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