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装置詳細

超音波顕微鏡

機関 産業技術総合研究所
施設名 スーパークリーンルーム
メーカー Sonoscan
型式 FastLine P300
用途 3D実装評価装置
仕様(特徴・詳細) 用途: 接合ウェハの接合状態評価
特徴: 接合ボイド観察に利用される
対応基板: φ300mmシリコン基板専用
装置番号: P08-110
注意:プロセス装置をご利用になられる方のみに利用提供している装置です
利用方法 詳しくはこちらをご覧下さい
問合せ先 国立研究開発法人産業技術総合研究所
TIA推進センター共用施設運営ユニット スーパークリーンルームステーション
〒305-8569 茨城県つくば市小野川16-1 西7 SCR棟
電話:029-849-1530 FAX:029-849-1533 Eメール:scr_contact-ml[@]aist.go.jp
(メールでお問い合わせ頂く際は[ ]を外してメールしてください)
備考 利用単価は【利用方法】の項目のリンク先にあります
施設画像
検索キーワード 計測装置