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  MEMS *

産総研つくば東事業所内に、200/300mmウェハによるMEMSプロセスラインおよび集積化設備を整備し、MEMSに関連する企業や大学が集結してオープンイノベーションを推進する場を提供しています。先端MEMSデバイスの小型化、高機能化に加えて、アプリケーション指向で集積化、システム化の研究開発を推進し、生活環境、インフラ、省エネルギーなどの分野で、社会に貢献する技術を目指します。また、企業や大学等に対して、各種加工分析装置による研究開発サポートやデバイス製造試作などを請け負うファンドリーサービスを提供しています。

*MEMS : Micro Electro Mechanical System


最先端のニーズに応えるMEMS開発拠点形成とMEMS ファンドリーサービス提供


先端集積化MEMSの研究開発や、200/300mmの大口径ウェハMEMS製造ラインによるデバイス試作などを行う、MEMSファンドリー(TKB-812)を整備しています。企業や大学などと共同研究や実証開発を行うとともに、共用のMEMSファンドリーとして、研究開発サポート、依頼加工・依頼分析、デバイス製造試作などのサービスを、MicroNano OpenInnovation Center(MNOIC)と連携して提供しています。


MEMSファンドリー

大面積フレキシブルセンサシートによる道路インフラモニタリング


老朽化が進む橋梁の維持管理のために、橋梁のひずみ分布を測定解析して亀裂発生などをモニタリングするシステムを開発しています。 橋梁にひずみセンサを多数配置するために、MEMS技術で開発した極薄シリコンひずみセンサを、フレキシブル回路基板上に格子配列した大面積のセンサシートを開発しています。これを橋梁に貼り、多数のセンサをワイヤレスネットワークに接続することで、継続的なモニタリングや災害時の状態確認が可能となります。

フレキシブル面パターンセンサ

振動発電により動作するセンサネットワークデバイスの開発


電源配線や電池を使用せずにポンプなどの回転機器の状態をモニタリングできる、自立電源ワイヤレス振動センサシステムを開発しています。圧電MEMS振動発電デバイスとコンパレータ、スイッチ回路を組み合わせた「鹿威しセンシング」を使ったデバイスは、振動発電による電力だけで計測と無線データ送信が行えます。 公共施設のライフライン・インフラに使用される空調機器用ポンプなど、回転機器の早期異常検知のための常時モニタリングシステムに利用できます。
超低電力鹿威し回路


TIAを活用するプロジェクト
  • 道路インフラモニタリングシステム研究開発
  • ライフラインコアモニタリングシステム研究開発